10/9(木) 14:00-16:30_産総研セミナー［九州センター研究講演会］

① 産総研の半導体技術開発概要 14:00–14:15

エレクトロニクス・製造領域領域長　安田哲二氏

② 産総研グループの挑戦－AIST SolutionsとOpenSUSIの取り組み 14:15–14:30

（株）AIST Solutions　プロデューサー　髙橋克己氏

③ 先端ロジック半導体パイロットラインとbeyond 2nm世代技術開発 14:30–14:45

エレクトロニクス・製造領域　先端半導体研究センター　副研究センター長　松川貴氏

④ 先進パワーエレクトロニクス研究センターの活動 14:45–15:00

エレクトロニクス・製造領域　先進パワーエレクトロニクス研究センター　研究センター長　田中保宣氏

⑤ 3D集積・先端パッケージング技術開発への取組紹介 15:00–15:15

エレクトロニクス・製造領域　ハイブリッド機能集積研究部門　研究部門長　薬師寺啓氏

⑥ センシング技術研究部門の活動 15:15–16:30

部門紹介：エレクトロニクス・製造領域　センシング技術研究部門　研究部門長　植村聖氏

⑥-1 15:20–15:30

線幅2μmを実現する極微細印刷と高密度再配線応用

センサインテグレーション研究グループ　研究グループ長　日下靖之氏

⑥-2 15:30–15:40

ダマシンCMPによる微細再配線層形成技術

センシングデバイス研究グループ　招聘研究員　大園満氏

⑥-3 15:40–15:50

窒化物及びダイヤモンドのデバイス開発

センシングデバイス研究グループ　研究グループ長　上沼睦典氏

⑥-4 15:50–16:00

基板中のマイクロクラック深さ推定技術の開発

センシング情報システム研究グループ　研究員　山浦大地氏

⑥-5 16:00–16:10

めっきプロセスセンシング技術の開発

IoT化学センサ研究グループ　研究グループ長　岩﨑渉氏

⑥-6 16:10–16:30

ライニングタンク（LT）診断技術の開発
ー半導体製造に欠かせない高純度薬液の貯蔵・搬送設備の診断技術ー

製造センシング研究グループ／バルカー-産総研先端機能材料開発連携研究ラボ　研究グループ長　寺崎正氏／連携研究ラボ長　能勢正章氏

セミナー一覧（半導体産業展）