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出展社一覧（半導体産業展 ）
本多電子(株)
本多電子は、自社開発の圧電セラミックス素子を活用した様々な超音波応用機器で半導体製造現場の多様なニーズに応えます。洗浄のお困りごとは弊社ブースにてご相談ください。
●低・中周波超音波洗浄機
●高周波超音波洗浄機
●ソニックモニター
●超音波流量計
●気泡検知センサ
本多電子が選ばれる理由 |
| 本多電子は、超音波の核となる圧電セラミックス（素子・振動子）を粉末から自社開発・生産しています。これにより、他社にはない開発スピードや柔軟なカスタマイズ、そしてコストメリットを実現し、お客様の多様なニーズに応えます。 |
出展製品・サービス
超音波洗浄機 WDX-600-Ⅱ
フルデジタルが可能にした当社独自の”ダイナショックモジュレーション（DM)方式”により ソフトな洗浄からハードな洗浄まで、用途に合わせた最適な洗浄力が得られます。 *DM（DYNASHOCK MODULATIONの略）方式とは、トータル出力パワーが一定のままで、同一振動子から2周波同時発生する超音波パワー比率（変調度）をコントロールすることにより、ソフトな洗浄からハードな洗浄まで最適な洗浄力を得る発振方式です。
流水式超音波洗浄機 W-357-1MPG
主にウェーハやハードディスクを洗浄するために、ノズル先端から放射された流水に超音波を重畳させて被洗浄物の洗浄をするポイントタイプの流水式超音波洗浄機です。放射された流水は超音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの輸送媒体として機能します。 流水式のためパーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特長があります。枚葉処理が可能なため、生産ラインへの組込みが容易です。
超音波流量計 HLF800シリーズ
主に半導体製造装置に使用されている超音波式流量計です。 超音波によりパイプ内を流れる液体の流速を広範囲で計測します。流体温度200℃までの高温薬液に対応しているDSP搭載の超音波流量計です。 高精度で安定した流量の計測を実現、微小流量まで計測が可能です。 さらに変換器１台に対し、異なるサイズの検出器を２台まで接続可能です。 省スペースでコストパフォーマンスに優れています。
ソニックモニター HUS-10
センサを超音波洗浄機の槽内（または流水）に入れることで、超音波の強弱と周波数をデジタル表示します。 超音波の強弱を可視化できるため、日々の洗浄管理にご利用いただけます。 10kHz（低周波）～5MHz（高周波）の幅広い周波数に対応しています。 通信機能搭載により、遠隔からの監視や測定結果の読み出しが可能です。
気泡検知センサ
超音波は、液体中を伝搬しやすい性質を持っていますが、液体中に空気(気泡)が存在する場合、伝搬効率が低くなり、超音波の受信強度も弱くなります。 超音波気泡検知センサは、この関係を利用して気泡検知を行います。