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出展社一覧（半導体産業展 ）
小間番号：A8-65
(株)第五電子工業
特に、成膜装置や洗浄装置に用いられる、高い気密（水密）性能が求められる部品の製作を得意としており、真空機器関連の部品加工においても多数の対応実績があります。
当社の特長は、板金加工、機械加工、パイプ曲げ加工、溶接といった多様な製造工程をすべて社内で一貫して行える点にあります。
これにより、高精度・短納期・高品質なモノづくりを実現しており、このような体制を有する企業は業界内でも非常に稀だと自負しています。
今回の展示会では、「気密（水密）溶接」をテーマに掲げ、TIG溶接およびファイバーレーザー溶接による水密溶接品を展示いたします。
ファイバーレーザー溶接は、板厚1mm以下の薄物でも反りなく仕上げることができる一方、5mm以上の厚板に対しても深い溶け込みが可能です。また、アルミ材の美しい仕上がりはもちろん、溶接が難しいとされるチタン材も安定して加工できる優れた特性があります。
さらに、真空チャンバーやラジエーター、配管類など、当社の技術力を体現する多彩な製品も展示しています。
なかでも注目の真空チャンバーは、五軸マシニングセンターで本体に斜め穴を加工し、枝管を斜めに差し込んで溶接したサンプルを展示。
丸形チャンバーの製作を得意とする当社は、バフ研磨・電解研磨・純水による精密洗浄にも対応しており、装置レベルの高品質を実現しています。
展示品以外のご要望にも柔軟に対応しておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りいただき、詳細な説明をお聞きください。
皆さまのご来訪を心よりお待ちしております。
【主要設備概要】
板金加工：ファイバーレーザー切断複合機、プレスブレーキ（ベンダー）
機械加工：マシニングセンター（縦型、横型、五軸加工機）、NC複合旋盤、ワイヤー放電加工機
パイプ曲げ加工：パイプ曲げ自動ベンダー
溶接加工：TIG溶接機、MIG溶接機、TIG円周自動溶接機、TIGロボット溶接機、ファイバーレーザー手動溶接機、ファイバーレーザーロボット溶接機
検査装置 他：三次元測定機、ヘリウムリークディテクター、光学データ処理システム、3Dファイバーレーザーマーカー
出展製品・サービス
水路溶接品【水冷フランジ・水冷プレート】
【概要】 水冷プレートは、マシニングセンターで溝(水路)を加工し、その溝の上部に板厚2～4ｍｍの蓋をかぶせて、溝(水路)の壁面と蓋をファイバーレーザーで溶接し、蓋の裏面まで完全溶込み(裏波溶接)させたものです。 また、ガンドリルなどで深穴をあけて蓋（栓）を溶接する仕様のものもあります。溶接方法もファイバーロボット、TIGロボット、TIGの手動溶接と様々対応可能です。 【詳細説明】 ファイバーレーザー溶接により、4mm以上の板でも開先を取らずに裏波溶接が可能です（キーホール溶接）。 当社が保有する8kW出力のレーザー溶接機を使用すれば、6mm以上の板でも同様の溶接が実現できます。ステンレスの場合、溶込み深さは約10mmが可能と考えています。 一般的なTIG溶接では、溶け込み深さは約1mmであり、開先を取る必要があります。 この加工手間や熱影響による変形が大きくなる問題を解決するため、ファイバーレーザー溶接は変形が少なく、高い経済性と品質面でのメリットを提供します。 今回展示する材質は、ステンレス、アルミ、インコネルです。 展示予定の材質は、ステンレス、アルミ、インコネルです。展示品以外にも、お客様の用途に合わせた提案が可能です。 複雑な水路形状にも対応いたしますので、ぜひご相談ください。
薄板BOX レーザー溶接品
【概要】 ステンレス、アルミ、チタンの1mm以下の薄板をファイバーレーザーで溶接したサンプルを展示いたします。 特にアルミにおいては、他の溶接方法（半自動溶接やTIG溶接）に比べてビードが細く、美しい仕上がりが得られます。 【詳細説明】 展示するサンプルには、アルミのt1.5mm、ステンレス、アルミ、チタンのt0.5mmといった薄板を使用しています。 反りなく、きれいに溶接できる様子をご実感いただけます。 今回の展示はサンプルですが、実際の加工においては様々な形状に対応可能です。 薄板の溶接でお困りの方は、ぜひレーザー溶接を検討してみてください。
ラジエーター
【概要】 当社は、半導体製造装置用の各種ラジエーターを製造しています。 展示する製品は、パイプは全てステンレス製で、フィンはアルミまたはステンレスで作られています。 【詳細説明】 パイプ径はΦ9.53～Φ16に対応可能で、展示品はΦ12.7です。 パイプピッチは38.1mmで並列配置となっています。 また、フィンピッチは任意に設定可能です。パイプの材質はステンレスで、フィンはアルミとステンレスの加工が可能です。 ラジエーターの形状に関する検討もお手伝いできますので、ご興味のある方はお気軽にお問合せください。
真空チャンバー等の溶接品
【概要】 今回展示する真空チャンバーには、枝管が斜めになっているタイプも含まれています。 成膜装置などでの使用を想定してサンプル品を製作し、出展いたします。展示品以外でも、ご要望に応じた製作が可能です。 【詳細説明】 当社は主に丸チャンバーを製作しており、サイズは手のひらサイズから、パイプ径Φ600、フランジ径Φ750まで対応しています。 五軸加工テーブルを使用し、Φ800で高さ1000mmまでの加工が可能です。 フランジは一般的なICFフランジの加工はもちろん、特殊なICFフランジや規格外の特殊形状のフランジも対応可能です。 また、アリ溝加工にも対応していますので、ご相談ください。
各種加工品
【概要】 板金加工や機械加工によって製作される様々な加工品を展示いたします。 【詳細説明】 当社は、板金加工から機械加工、パイプ加工、溶接加工まで、すべての工程を社内で一貫して対応できる体制を整えています。 この利点を活かし、今回は特に特徴的な展示品を用意しました。 展示品には、パイプの3D形状に曲げたものを外側に埋め込んで半田付けしたものや、細穴（ガス抜き穴）を加工した複雑な機械加工品などが含まれています。ぜひご覧ください。
