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出展社一覧（半導体産業展）

小間番号：A7-21

(株)リボラス

カテゴリー > 前工程

私達の使命はお客様のお役に立つこと

お客様を通じて社会に貢献・奉仕することである

私たちは存在感を示しお客様も、協力会社様、

そして私達も豊かになることである

私達の5年先10年先の姿が描ける、夢のある、

やりがいのある、達成感のある、

会社作りを目指します

１．バタフライバルブ用構成部材の改善　　コーティング（付着防止対策）・溶射（強度ＵＰ）等２．Ｙ2O3溶射膜　　１）剥がれない膜（高密着溶射膜＆剥がれ防止対策）　　２）黒色溶射製品

通常修理で良いんですか？改善をしよう!! バルブ・マグネトロン・磁気シール・ブッシング等

再生トータルサポート　日本一の「再生」へ分析＋改善＝再生『ONLY ONE』再生を ESC（静電チャック）再生

分析だけでは終わらない（要因→分析→改善）石英分析・・形状変更による延命化デポ物分析・・形状変更によるパーティクル削減へステージ分析・・表面再生のご提案

無いなら作れ!!（生産終了品　大歓迎）欲しいを形に!!（図面無し、現品あれば大丈夫!!）各種チャンバー内パーツ、BG Chuck、Clean Sheet、Clean Pad等

・ノンカーボン品で耐熱300℃＋耐プラズマO-Ring ・非粘着性O-Ring（メンテ改善）・一般的なフッ素ゴム、EPDM、ｼﾘｺｰﾝｺﾞﾑと比較して、　一点優れた＋αの独自性能を有している高性能O-Ring