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出展社一覧（半導体産業展 ）
小間番号：B7-25
神津精機(株)
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神津精機株式会社は、精密位置決め機構とウエハ表面形状測定システムの専門メーカーです。
本展示では、ウエハの品質・歩留まり向上に直結する 「ウエハ表面形状測定システム」 と、装置の性能を支える 「精密位置決めステージ」 をご紹介いたします。
測定と位置決めの両面から、装置開発の課題解決を支援します。
ぜひ 神津精機ブース へお立ち寄りください。
出展製品・サービス
■ ウエハ表面形状測定システム ・非接触方式により、ウエハの反り・厚みを 高速かつ高精度 に測定 ・枚葉機だけでなく、自動測定機としての採用実績も拡大中 ・300mmウエハや カスタム仕様 にも柔軟に対応 ■ ウエハアライメントステージ / 精密位置決めステージ ・チルト機構付き6軸アライメントユニット、高速駆動Zステージ など幅広くラインアップ ・多軸・高剛性・コンパクト設計を両立 ・半導体通電検査、光学調整、組立工程など、装置内の 高精度位置決め、搬送に最適
