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出展社一覧（半導体産業展 ）
小間番号：B5-31
トーカロ(株)
＜会社紹介＞
トーカロは技術の最先端を走り続ける表面改質のリーディングカンパニーです。溶射や化学緻密化処理・塩浴拡散処理・レーザクラッディングなど幅広い表面改質技術を有し、お客様の生産設備や部品の表面を高機能化(耐食性、耐摩耗性、電気絶縁性改善など)することで、様々な課題を解決してきました。約70年の歴史において、鉄鋼、電力、石油化学、自動車、産業機械などの基幹産業から半導体・FPD製造装置などの精密機械、人の命を守る医療機器、また環境機器や航空・宇宙分野まで幅広い産業の課題を解決し、その実績とノウハウが当社の強みになっています。溶射技術開発研究所においては、産学官連携による先進的な研究に加え、顧客の要望に応じた皮膜開発を通じて多くの新技術や知的財産を生み出しています。今後も省資源化、省力化、環境負荷低減等を通じて、サステナブルな未来のために表面改質技術の総合メーカーとして「人と自然の豊かな未来」に貢献していきます。
＜見どころ＞
半導体製造装置の摩耗・腐食対策や周辺設備の寿命延長、生産効率向上に貢献する、各種表面処理・コーティング技術を展示いたします。
＜展示品の一例＞
●非粘着性や撥液性に優れたコーティング「tt-koteシリーズ」
●被加熱対象に直接溶射して形成する「溶射ヒーター」
●絶縁性や除電性、耐プラズマ性など各種特性を付与できる「セラミック溶射」
出展製品・サービス
▶『溶射ヒーター』
被加熱対象に直接コーティングする溶射ヒーターは、所定の範囲に任意のワット密度のヒーターを作製可能です。接触面積が大きく熱損失が小さいため、エネルギーを無駄なく利用できます。 またヒーター部の厚みが薄く熱容量が小さいため、優れた昇降温速度を持ち、形状由来の熱特異点を解消したパターン設計から、高い均熱性を実現します。電気特性、遮熱性、耐プラズマ性等の様々な機能も付加可能です。
▶絶縁性・除電性・耐プラズマ性 『セラミックス溶射』
溶射法を用いれば、様々なセラミックスで基材を被覆することが可能です。皮膜の種類を選択することで、電気絶縁性、耐プラズマ特性、耐摩耗性、遮熱性など、製品の課題に応じて様々な機能を付与できます。 また、仕上げ加工を行うことで鏡面性を得るなど、任意の表面状態にすることも可能です。
▶非粘着コーティング 『tt-koteシリーズ』
ttーkoteシリーズは、樹脂・粘着類に対する非粘着性能や撥水・撥油性能が非常に優れた薄膜コーティングです。成分が異なる多数のラインナップの中から、使用環境に最適なコーティング提供します。 また、PFAS規制に該当しないコーティングも選択可能です。
▶耐食コーティング 『SUPER ZAC』
SUPER ZACは細径配管の内外面などにも施工可能な緻密質セラミックス皮膜です。 皮膜は緻密質かつ安定した酸化物で構成されている為、硫酸などの酸や腐食性のガスから基材を保護する耐食コーティングとして適用可能です。
▶耐摩耗・耐衝撃コーティング 『NP-kote』 (低温施工)
高弾性の皮膜で衝撃に強く、粉体に対しても高い耐エロージョン性を示します。本コーティングは揮発性有機化合物(VOC)や硬化時の熱源を用いることなく大面積にも施工でき、現地での施工対応が可能です。
▶耐摩耗・耐食性 『超硬溶射』
超硬(WC系サーメット)溶射皮膜は耐摩耗性・耐食性に優れた皮膜です。鏡面加工も可能で、幅広い業界において非常に多くの適用実績がございます。 ●Vプーリへの溶射適用 高硬度のWC系サーメット材料を用いることで耐摩耗性・グリップ力を向上し、プーリとベルト双方の寿命延長と省エネに貢献します。 ●CFRP製部品への溶射適用 CFRP部材の表面に超硬溶射の施工を行うことで、耐摩耗性の向上やランニングコストの低減に多大な効果をもたらします。 搬送ロールなどへも適用可能です。
